سلکان کاربائیڈ ٹرے
ایپلی کیشنز: ایل ای ڈی ویفر کور کے لیے ایپیٹیکسیل لیئر پتلی فلمی مواد (GaN، SiO2، وغیرہ) کے لیے ICP اینچنگ کا عمل، درست سیرامک پارٹس کا استعمال کرتے ہوئے سیمی کنڈکٹر ڈفیوژن، اور سیمی کنڈکٹر ویفرز کے لیے MOCVD ایپیٹیکسیل عمل۔ سلیکون کاربائیڈ سیرامک ٹرے اعلیٰ پاکیزگی، غیر دباؤ والے سنٹرڈ سلکان کاربائیڈ سیرامک مواد سے بنی ہیں، جس میں اعلی سختی، پہننے کی مزاحمت، اعلی تھرمل چالکتا، اعلی درجہ حرارت مکینیکل استحکام، اور سنکنرن مزاحمت کے ساتھ ساتھ اعلی درستگی اور یکسانیت کے فوائد ہیں۔ ویفر ایپیٹیکسیل پرت اینچنگ کا۔
تصریح
دیگر اقسام کی ٹرے کے مقابلے SiC ٹرے کے بہت سے فوائد ہیں۔ سب سے پہلے، ان کی اعلی تھرمل چالکتا انہیں گرمی کے علاج کے عمل کے لیے مثالی بناتی ہے، جیسے کہ سنٹرنگ اور بریزنگ۔ وہ 1650 ڈگری تک درجہ حرارت کو بغیر کسی تپش یا کمی کے برداشت کر سکتے ہیں، جس کا مطلب ہے کہ انہیں سخت ماحول میں استعمال کیا جا سکتا ہے جہاں دیگر مواد ناکام ہو جائیں گے۔
دوم، سلکان کاربائیڈ ٹرے کیمیائی طور پر غیر فعال ہیں اور تیزاب، بیس اور نمکیات سمیت زیادہ تر کیمیکلز کے ساتھ رد عمل ظاہر نہیں کرتی ہیں۔ یہ خصوصیت انہیں کیمیکل اور دواسازی کی صنعتوں میں استعمال کے لیے مثالی بناتی ہے، جہاں اکثر سخت کیمیکل استعمال کیے جاتے ہیں۔
تیسرا، SiC ٹرے انتہائی رگڑ مزاحم ہیں اور ان میں تھرمل توسیع کا کم گتانک ہے۔ یہ انہیں اعلی درجہ حرارت والی فرنس ایپلی کیشنز میں استعمال کرنے کے لیے مثالی بناتا ہے جہاں پرزوں کو اچھی طرح سے فٹ ہونے کی ضرورت ہوتی ہے اور تھرمل تبدیلیوں کی وجہ سے پھیلنے یا سکڑنے کی ضرورت نہیں ہوتی ہے۔
