کیمیکل وانپ فیز ترکیب آف بورن نائٹریڈ

1979 میں ، سوکولوسکی نے کم درجہ حرارت اور کم دباؤ پر کیوبک بوران نائٹرائڈ (سی بی این) فلموں کی تیاری کے لئے پلس پلازما ٹیکنالوجی کو کامیابی کے ساتھ استعمال کیا۔ استعمال کیا گیا سامان آسان ہے اور اس عمل کا ادراک کرنا آسان ہے ، لہذا اسے تیزی سے تیار کیا گیا ہے۔ بخار جمع کرنے کے متعدد طریقے سامنے آئے ہیں۔ روایتی طور پر ، اس کا مطلب بنیادی طور پر تھرمل کیمیائی بخارات جمع ہوتا ہے۔ تجرباتی آلہ عام طور پر حرارت سے مزاحم کوارٹج ٹیوب اور ہیٹنگ ڈیوائس پر مشتمل ہوتا ہے۔ سبسٹریٹ حرارتی بھٹی (گرم دیوار سی وی ڈی) یا اعلی تعدد انڈکشن ہیٹنگ (سرد دیوار سی وی ڈی) کے ذریعہ گرم کیا جاسکتا ہے۔ رد عمل کی گیس اعلی درجہ حرارت والے سبسٹریٹ کی سطح پر گل جاتی ہے ، اور اسی وقت فلم کو جمع کرنے کے لئے ایک کیمیائی رد عمل ہوتا ہے۔ رد عمل گیس بی سی ایل کی مخلوط گیس ہے₃ یا بی₂H₄اور NH₃.